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產(chǎn)品分類

產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：機(jī)械測試儀TriboLab CMP
產(chǎn)品型號(hào)：
產(chǎn)品廠商：德國布魯克BRUKER
產(chǎn)品文檔：

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簡單介紹：

機(jī)械測試儀TriboLab CMP****小規(guī)模研發(fā)系統(tǒng)中的 ROI，此臺(tái)式工具可再現(xiàn)全尺寸晶圓拋光工藝條件，而無需在生產(chǎn)設(shè)備上停機(jī)。機(jī)械測試儀TriboLab CMP靈活參數(shù)控制，允許量身定制的測試，以加快材料開發(fā)，并**優(yōu)化流程。專家應(yīng)用和支持，我們與大型安裝基地合作多年，為您的實(shí)驗(yàn)室提供專業(yè)知識(shí)。

詳情介紹：

機(jī)械測試儀TriboLab CMP利用其前身產(chǎn)品（Bruker CP-4）超過 20 年的 CMP 領(lǐng)域?qū)I(yè)知識(shí)，為業(yè)界**的 TriboLab 平臺(tái)帶來了一套完整的功能。基于本套設(shè)備產(chǎn)生的高精度和高可重復(fù)性使得在整個(gè) CMP 流程中能夠進(jìn)行高效的鑒別、檢查和連續(xù)功能測試。機(jī)械測試儀TriboLab CMP是市場上**能夠提供廣泛的拋光壓力（0.05-50 psi）、速度（1 至 500 rpm）、摩擦、聲發(fā)射和表面溫度測量的工藝開發(fā)工具，可準(zhǔn)確、完整地描述 CMP 工藝和耗材。